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基于机械剥离 β-Ga2O3的Ni/Au垂直结构肖特基器件的温度特性

龙泽 夏晓川 石建军 刘俊 耿昕蕾 张赫之 梁红伟

物理学报2020,Vol.69Issue(13):290-299,10.
物理学报2020,Vol.69Issue(13):290-299,10.DOI:10.7498/aps.69.20200424

基于机械剥离 β-Ga2O3的Ni/Au垂直结构肖特基器件的温度特性

Temperature dependent characteristics of Ni/Au vertical Schottky diode based on mechanically exfoliated beta-Ga2O3 single crystal

龙泽 1夏晓川 1石建军 1刘俊 1耿昕蕾 1张赫之 1梁红伟1

作者信息

  • 1. 大连理工大学微电子学院, 大连 116024
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摘要

关键词

氧化镓/机械剥离/肖特基二极管/温度特性

引用本文复制引用

龙泽,夏晓川,石建军,刘俊,耿昕蕾,张赫之,梁红伟..基于机械剥离 β-Ga2O3的Ni/Au垂直结构肖特基器件的温度特性[J].物理学报,2020,69(13):290-299,10.

基金项目

大连市科技创新基金 (批准号: 2018J12GX060) 和国家重点研发计划 (批准号: 2016YFB0400600, 2016YFB0400601) 资助的课题. (批准号: 2018J12GX060)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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