西安电子科技大学学报（自然科学版）2020，Vol.47Issue(3)：8-13,22,7.DOI:10.19665/j.issn1001-2400.2020.03.002
AlN薄膜压电微机械超声换能器的设计与优化
Design and optimization of the piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer with an AlN thin film
娄利飞 1赵建新 1梁雅楠 1赵明阳 1安再芳1
作者信息
- 1. 西安电子科技大学微电子学院,陕西西安710071
- 折叠
摘要
关键词
压电微机械超声换能器/氮化铝/有限元分析/性能优化分类
通用工业技术引用本文复制引用
娄利飞,赵建新,梁雅楠,赵明阳,安再芳..AlN薄膜压电微机械超声换能器的设计与优化[J].西安电子科技大学学报（自然科学版）,2020,47(3):8-13,22,7.
