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我国准分子激光技术发展现状及趋势研究

范元媛 周翊 郭馨 王倩 金春水 楼祺洪

中国工程科学2020，Vol.22Issue(3)：29-34,6.
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中国工程科学2020，Vol.22Issue(3)：29-34,6.DOI:10.15302/J-SSCAE-2020.03.005

我国准分子激光技术发展现状及趋势研究

Development Status and Trend of China's Excimer Laser Technology

范元媛 1周翊 1郭馨 1王倩 1金春水 2楼祺洪3

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所,北京100029
  • 2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033
  • 3. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
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摘要

关键词

激光器/准分子激光技术/材料加工

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

范元媛,周翊,郭馨,王倩,金春水,楼祺洪..我国准分子激光技术发展现状及趋势研究[J].中国工程科学,2020,22(3):29-34,6.

基金项目

中国工程院咨询项目"我国激光技术与应用2035发展战略研究"(2018-XZ-27) （2018-XZ-27）

中国工程科学

OA北大核心CSCDCSTPCD

1009-1742

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