材料工程2020，Vol.48Issue(7)：36-44,9.DOI:10.11868/j.issn.1001-4381.2019.000918
等离子体增强化学气相沉积可控制备石墨烯研究进展
Research progress in controllable synthesis of graphene by plasma-enhanced chemical vapor deposition
李娜 1张儒静 2甄真 1许振华 2何利民1
作者信息
- 1. 中国航发北京航空材料研究院,北京100095
- 2. 北京石墨烯技术研究院有限公司 ,北京100094
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摘要
关键词
石墨烯/等离子体增强化学气相沉积/形核及生长/生长机制分类
化学化工引用本文复制引用
李娜,张儒静,甄真,许振华,何利民..等离子体增强化学气相沉积可控制备石墨烯研究进展[J].材料工程,2020,48(7):36-44,9.
