硅酸盐通报2020，Vol.39Issue(6)：1949-1953,5.
工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究
Etching Performance of Quartz Glass by the Choice of Process Parameters
摘要
关键词
石英玻璃/等离子体/刻蚀/气压分类
化学化工引用本文复制引用
张文琼,方亮..工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究[J].硅酸盐通报,2020,39(6):1949-1953,5.基金项目
福建省漳州市自然科学基金(ZZ2018J27) （ZZ2018J27）
厦门大学嘉庚学院预研究项目(YY2019L03) （YY2019L03）
