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MPCVD单晶金刚石高速率和高品质生长研究进展

李一村 曹文鑫 杨磊 朱嘉琦 韩杰才 郝晓斌 代兵 舒国阳 赵继文 张森 刘雪冬 王伟华 刘康

人工晶体学报2020,Vol.49Issue(6):979-989,11.
人工晶体学报2020,Vol.49Issue(6):979-989,11.

MPCVD单晶金刚石高速率和高品质生长研究进展

Research Progress on High Rate and High Quality Growth of MPCVD Single Crystal Diamond

李一村 1曹文鑫 1杨磊 1朱嘉琦 1韩杰才 1郝晓斌 1代兵 1舒国阳 1赵继文 1张森 1刘雪冬 1王伟华 1刘康1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨 150001
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摘要

关键词

MPCVD单晶金刚石/高速率/高品质

分类

数理科学

引用本文复制引用

李一村,曹文鑫,杨磊,朱嘉琦,韩杰才,郝晓斌,代兵,舒国阳,赵继文,张森,刘雪冬,王伟华,刘康..MPCVD单晶金刚石高速率和高品质生长研究进展[J].人工晶体学报,2020,49(6):979-989,11.

基金项目

国家杰出青年科学基金(51625201) (51625201)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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