实验科学与技术2020，Vol.18Issue(3)：118-122,5.DOI:10.12179/1672-4550.20190282
AlN薄膜制备与表征研究型实验设计
Design of Research-oriented Experiment for Preparation and Characterization of AlN Film
摘要
关键词
氮化铝薄膜/研究型实验/实验教学/宽带隙半导体分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陶鹏程,梁红伟,夏晓川,黄火林..AlN薄膜制备与表征研究型实验设计[J].实验科学与技术,2020,18(3):118-122,5.基金项目
大连理工大学教学改革基金(YB2018024, YB2019017). （YB2018024, YB2019017）
