现代应用物理2020，Vol.11Issue(2)：34-39,6.DOI:10.12061/j.issn.2095-6223.2020.020801
沉积温度对TiC涂层微观形貌及导电性能的影响
Effect of Deposition Temperature on Morphology and Conductivity of TiC Coatings
唐运生 1陈昌华 2刘文元 2柯昌凤 2孙钧 2程军 2霍艳坤2
作者信息
- 1. 湘潭大学材料科学与工程学院,湘潭411105
- 2. 西北核技术研究所,西安710024
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摘要
关键词
TiC涂层/化学气相沉积法/沉积温度/微观形貌/表面电阻率分类
矿业与冶金引用本文复制引用
唐运生,陈昌华,刘文元,柯昌凤,孙钧,程军,霍艳坤..沉积温度对TiC涂层微观形貌及导电性能的影响[J].现代应用物理,2020,11(2):34-39,6.
