长春大学学报（自然科学版）2020，Vol.30Issue(3)：32-36,5.
溅射功率对ZrNx薄膜微观结构、表面形貌及浸润性能的影响
Effect of Sputtering Power on Microstructure, Morphology and Wettability Properties of ZrNx Films
安涛 1鞠金宁2
作者信息
- 1. 长春大学 理学院,长春130022
- 2. 长春大学 材料设计与量子模拟吉林省高校重点实验室,长春130022
- 折叠
摘要
关键词
磁控溅射/ZrNx薄膜/微观结构/表面形貌/润湿性分类
数理科学引用本文复制引用
安涛,鞠金宁..溅射功率对ZrNx薄膜微观结构、表面形貌及浸润性能的影响[J].长春大学学报（自然科学版）,2020,30(3):32-36,5.
