电工技术学报2020，Vol.35Issue(14)：2979-2986,8.DOI:10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.190444
一种直驱XY平台精密轮廓跟踪控制方法
A Precision Contouring Tracking Control Method for Direct Drive XY Table
摘要
关键词
直驱XY平台/轮廓误差估计/迭代学习控制/轮廓跟踪控制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
原浩,赵希梅..一种直驱XY平台精密轮廓跟踪控制方法[J].电工技术学报,2020,35(14):2979-2986,8.基金项目
辽宁省自然科学基金计划重点项目(20170540677)和辽宁省教育厅科学技术研究项目(LQGD2017025)资助. （20170540677）
