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Si基埋置型GaAs芯片封装技术及其热分析

赵敏 周健 孙浩 伍滨和

电子器件2020,Vol.43Issue(3):477-481,5.
电子器件2020,Vol.43Issue(3):477-481,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2020.03.001

Si基埋置型GaAs芯片封装技术及其热分析

Si-Based Embedded GaAs Chip Packaging Technology and Its Thermal Analysis

赵敏 1周健 2孙浩 2伍滨和2

作者信息

  • 1. 东华大学理学院,上海201620
  • 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050
  • 折叠

摘要

关键词

封装散热/GaAs芯片/Si基埋置型/TSV通孔/热学仿真

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵敏,周健,孙浩,伍滨和..Si基埋置型GaAs芯片封装技术及其热分析[J].电子器件,2020,43(3):477-481,5.

基金项目

中科院联合基金项目(6141A01100101) (6141A01100101)

电子器件

OA北大核心CSTPCD

1005-9490

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