电子器件2020，Vol.43Issue(3)：490-494,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2020.03.003
基于BSO算法的SiO2沉积速率控制
SiO2 Deposition Rate Control Based on Beetle Swarm Optimization Algorithm
王叶馨 1沈景凤1
作者信息
- 1. 上海理工大学机械工程学院,上海200093
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摘要
关键词
电子枪/沉积速率/天牛须搜索-粒子群算法(BSO)/PID/遗传算法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王叶馨,沈景凤..基于BSO算法的SiO2沉积速率控制[J].电子器件,2020,43(3):490-494,5.
