计量学报2020，Vol.41Issue(7)：789-795,7.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2020.07.04
AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究
Research on the Influence of Scanning Parameters on Imaging Quality in AFM Tapping Mode
摘要
关键词
计量学/原子力显微镜/扫描参数/成像质量/轻敲模式/幅值误差分类
通用工业技术引用本文复制引用
陈建超,安小广,冯世绪,王加春..AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究[J].计量学报,2020,41(7):789-795,7.基金项目
河北省自然科学基金(E2018203440/E2018203403) （E2018203440/E2018203403）
河北省高等学校自然科学研究青年基金(QN2016004) （QN2016004）
中央高校基本科研业务费专项资金(30917014101) （30917014101）
燕山大学青年教师自主研究计划(15LGB001) （15LGB001）
