真空电子技术Issue(3):1-14,14.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.03.01
场发射冷阴极的技术现状及其应用研究进展
Technology Status and Application Research Progress of Field Emission Cold Cathodes
摘要
关键词
场发射冷阴极/真空微纳电子器件/低维纳米材料/微纳加工工艺/真空微系统分类
数理科学引用本文复制引用
徐季,张建,李孟杰,史永佼,施予同,吴量,李新宇,张晓兵..场发射冷阴极的技术现状及其应用研究进展[J].真空电子技术,2020,(3):1-14,14.基金项目
国家自然科学基金面上项目(批准号:61971133) (批准号:61971133)
国家自然科学基金青年科学基金(批准号:61571124) (批准号:61571124)
“政府间国际科技创新合作/港澳台科技创新合作”重点专项(批准号:2018YFE0125500) (批准号:2018YFE0125500)
中国博士后基金面上项目(批准号:2019M651646) (批准号:2019M651646)