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垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管电学法热阻测试中测试电流的研究

吕贤亮 黄东巍 周钦沅 李旭

电气技术2020,Vol.21Issue(8):28-32,39,6.
电气技术2020,Vol.21Issue(8):28-32,39,6.

垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管电学法热阻测试中测试电流的研究

Study of measuring current for vertical double-diffused metal oxide semiconductor electrical thermal resistance measurement

吕贤亮 1黄东巍 1周钦沅 1李旭1

作者信息

  • 1. 中国电子技术标准化研究院基础产品研究中心,北京 100176
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摘要

关键词

垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管器件/电学法热阻/测试电流/测试延迟时间/校温曲线

引用本文复制引用

吕贤亮,黄东巍,周钦沅,李旭..垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管电学法热阻测试中测试电流的研究[J].电气技术,2020,21(8):28-32,39,6.

电气技术

1673-3800

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