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成果简介:高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用
成果简介:高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用
黄庆安
电子学报
2020，Vol.48
Issue(2)：封4,1.
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电子学报
2020，Vol.48
Issue(2)
：封4,1.
成果简介:高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用
黄庆安
1
作者信息
1.
东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096
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黄庆安..成果简介:高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用[J].电子学报,2020,48(2):封4,1.
电子学报
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
0372-2112
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