人工晶体学报2020，Vol.49Issue(7)：1141-1156,16.
PVT法AlN单晶生长技术研究进展及其面临挑战
Research Progress and Future Challenges of AlN Single Crystal Growth by Physical Vapor Transport Method
付丹扬 1龚建超 2雷丹 2黄嘉丽 2王琦琨 2吴亮1
作者信息
- 1. 上海大学材料科学与工程学院,省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室,上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室,上海200444
- 2. 奥趋光电技术(杭州)有限公司,杭州311106
- 折叠
摘要
关键词
AlN单晶/PVT/自发形核生长/同质外延生长/异质外延生长分类
数理科学引用本文复制引用
付丹扬,龚建超,雷丹,黄嘉丽,王琦琨,吴亮..PVT法AlN单晶生长技术研究进展及其面临挑战[J].人工晶体学报,2020,49(7):1141-1156,16.
