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氮化镓籽晶的表面损伤处理及氨热生长研究

姚晶晶 任国强 李腾坤 苏旭军 邱永鑫 许磊 高晓冬 徐科

人工晶体学报2020，Vol.49Issue(7)：1157-1161,1207,6.
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人工晶体学报2020，Vol.49Issue(7)：1157-1161,1207,6.

氮化镓籽晶的表面损伤处理及氨热生长研究

Study on Surface Damage Treatment of GaN Seed and Ammonothermal Growth

姚晶晶 1任国强 2李腾坤 1苏旭军 1邱永鑫 1许磊 1高晓冬 1徐科2

作者信息

  • 1. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州215000
  • 2. 中国科学技术大学纳米科学技术学院,苏州215000
  • 折叠

摘要

关键词

氮化镓/氨热法/籽晶表面处理/化学机械抛光

分类

数理科学

引用本文复制引用

姚晶晶,任国强,李腾坤,苏旭军,邱永鑫,许磊,高晓冬,徐科..氮化镓籽晶的表面损伤处理及氨热生长研究[J].人工晶体学报,2020,49(7):1157-1161,1207,6.

基金项目

国家自然科学基金(61574162,61604169) （61574162,61604169）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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