人工晶体学报2020，Vol.49Issue(7)：1168-1175,8.
行星式MOCVD反应器进口结构对AlN生长的气相反应和生长速率的影响
Influence of Inlet Structure of Planetary Reactor on Gas Reaction Path and Growth Rate in AlN-MOCVD
摘要
关键词
MOCVD/AlN/行星式反应器/气相反应/数值模拟分类
数理科学引用本文复制引用
茅艳琳,左然..行星式MOCVD反应器进口结构对AlN生长的气相反应和生长速率的影响[J].人工晶体学报,2020,49(7):1168-1175,8.基金项目
国家自然科学基会(61474058) （61474058）
