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磁控溅射法制备品格大尺寸的ITO薄膜

陈婉君

中国新技术新产品Issue(11)：28-31,4.
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中国新技术新产品Issue(11)：28-31,4.

磁控溅射法制备品格大尺寸的ITO薄膜

陈婉君1

作者信息

  • 1. 厦门市三安光电科技有限公司芯片部,福建厦门361008
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摘要

关键词

直流磁控溅射/射频磁控溅射/大尺寸ITO晶体

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈婉君..磁控溅射法制备品格大尺寸的ITO薄膜[J].中国新技术新产品,2020,(11):28-31,4.

中国新技术新产品

1673-9957

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