磁控溅射法制备Al2O3复合高铝玻璃薄膜OA北大核心CSCDCSTPCD
Al2O3 and High Alumina Glass Composite Films by Magnetron Sputtering
采用磁控溅射法,创新性地以高铝玻璃和Al2O3为靶材,制备了Al2O3复合高铝玻璃薄膜.利用多种技术手段对薄膜的表面形貌、结构及成分进行分析和表征.结果表明,在Al2O3靶功率为120W,其他条件不变的情况下,所制备的薄膜综合性能最优.此外,对薄膜的硬度及可见光透过率进行了测试,测试结果表明薄膜的纳米硬度可达18GPa以上,同时保持了高于85％的良好可见光透过率.
万法琦;贺建雄;鲍思思;姜宏;文峰;马艳平
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通用工业技术
高铝玻璃磁控溅射氧化铝
《材料科学与工程学报》 2020 (4)
619-624,6
海南省重大科技计划资助项目(ZDKJ2017011),国家自然科学基金资助项目(51761010),海南大学科研平台建设资助项目(ZY2019HN09)
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