红外与毫米波学报2020，Vol.39Issue(4)：417-421,5.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2020.04.004
表面微结构的高响应度Si基近红外光电探测器
High responsivity Si-based near-infrared photodetector with surface microstructure
摘要
关键词
Si/光电探测器/微结构/近红外光/响应度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
唐玉玲,夏少杰,陈俊..表面微结构的高响应度Si基近红外光电探测器[J].红外与毫米波学报,2020,39(4):417-421,5.基金项目
国家自然科学基金(61774108) （61774108）
