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硅片表面纳米颗粒剥离及其成分检测方法研究

刘立拓 王春龙 余晓娅 石俊凯 黎尧 陈晓梅 周维虎

物理学报2020，Vol.69Issue(16)：175-182,8.
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物理学报2020，Vol.69Issue(16)：175-182,8.DOI:10.7498/aps.69.20200517

硅片表面纳米颗粒剥离及其成分检测方法研究

Study of nano particle stripping and composition inspection on wafer surface

刘立拓 1王春龙 2余晓娅 3石俊凯 1黎尧 1陈晓梅 1周维虎1

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所光电技术研究中心, 北京 100094
  • 2. 解放军 32180 部队, 北京 100012
  • 3. 试验物理与计算数学重点实验室, 北京 100094
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摘要

关键词

纳米颗粒运动模型/激光诱导击穿光谱/激光清洗机理/成分检测

引用本文复制引用

刘立拓,王春龙,余晓娅,石俊凯,黎尧,陈晓梅,周维虎..硅片表面纳米颗粒剥离及其成分检测方法研究[J].物理学报,2020,69(16):175-182,8.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:61404171)和国家重点研发计划(批准号:2019YFB2005600)资助的课题. （批准号:61404171）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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