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超精密微动台扰动估计与前馈补偿

孙浩博 成荣 杨开明 朱煜 鲁森

中国电机工程学报2020，Vol.40Issue(16)：5345-5351,中插27,8.
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中国电机工程学报2020，Vol.40Issue(16)：5345-5351,中插27,8.DOI:10.13334/j.0258-8013.pcsee.191997

超精密微动台扰动估计与前馈补偿

Disturbance Estimation and Feedforward Compensation of Ultra-precision Fine Stage

孙浩博 1成荣 1杨开明 1朱煜 1鲁森1

作者信息

  • 1. 摩擦学国家重点实验室(清华大学),北京市 海淀区 100084
  • 折叠

摘要

关键词

超精密微动台/扰动估计/前馈补偿/轨迹跟踪精度

分类

机械制造

引用本文复制引用

孙浩博,成荣,杨开明,朱煜,鲁森..超精密微动台扰动估计与前馈补偿[J].中国电机工程学报,2020,40(16):5345-5351,中插27,8.

基金项目

国家科技重大专项(2017ZX02102004). （2017ZX02102004）

中国电机工程学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0258-8013

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