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离子注入结深的参数影响分析

董海青 张照锋

中国新技术新产品Issue(12)：30-31,2.
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中国新技术新产品Issue(12)：30-31,2.

离子注入结深的参数影响分析

董海青 1张照锋1

作者信息

  • 1. 南京信息职业技术学院,江苏南京210023
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摘要

关键词

工艺/器件/仿真

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

董海青,张照锋..离子注入结深的参数影响分析[J].中国新技术新产品,2020,(12):30-31,2.

基金项目

南京信息职业技术学院开放基金支持《高速CMOS sigma-delta ADC集成电路研究与设计》,项目编号KF20160101. （）

中国新技术新产品

1673-9957

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