中北大学学报（自然科学版）2020，Vol.41Issue(5)：450-454,5.DOI:10.3969/j.issn.1673-3193.2020.05.011
一种射频MEMS开关高平整度牺牲层的制备方法
Method for Preparing High-Level Flatness Sacrificial Layer of Radio Frequency MEMS Switch
高跃升 1薛鹏飞 2王俊强 1吴倩楠 3陈鸿 4李孟委3
作者信息
- 1. 中北大学 仪器与电子学院,山西 太原 030051
- 2. 山西省计量科学研究院,山西 太原 030032
- 3. 中北大学 前沿交叉科学研究院,山西 太原 030051
- 4. 中北大学南通智能光机电研究院,江苏 南通 226000
- 折叠
摘要
关键词
MEMS开关/牺牲层/聚酰亚胺/平坦度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
高跃升,薛鹏飞,王俊强,吴倩楠,陈鸿,李孟委..一种射频MEMS开关高平整度牺牲层的制备方法[J].中北大学学报（自然科学版）,2020,41(5):450-454,5.
