中北大学学报（自然科学版）2020，Vol.41Issue(5)：455-460,6.DOI:10.3969/j.issn.1673-3193.2020.05.012
一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法
A Preparation Method of Silicon Nanowires for MEMS Vector Hydrophone
摘要
关键词
MEMS矢量水听器/硅纳米线/自上而下法/TMAH各向异性腐蚀/干法刻蚀/半导体工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
史一明,齐秉楠,白建新,宋金龙,王卫东,王任鑫..一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法[J].中北大学学报（自然科学版）,2020,41(5):455-460,6.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61604134) （61604134）
国防科技重点实验室基金(6142109KF201804) （6142109KF201804）
博士后特别资助计划(2017T100171) （2017T100171）
实验室开放基金(JZ2018036WR) （JZ2018036WR）
