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不同缓冲气体中ArF准分子激光系统 放电特性分析

王倩 赵江山 范元媛 郭馨 周翊

物理学报2020，Vol.69Issue(17)：299-306,8.
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物理学报2020，Vol.69Issue(17)：299-306,8.DOI:10.7498/aps.69.20200087

不同缓冲气体中ArF准分子激光系统 放电特性分析

Analysis of ArF excimer laser system discharge characteristics in different buffer gases

王倩 1赵江山 2范元媛 3郭馨 1周翊2

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所, 北京 100094
  • 2. 北京市准分子激光工程技术中心, 北京 100094
  • 3. 中国科学院大学, 北京 100049
  • 折叠

摘要

关键词

ArF/准分子激光/流体模型/电子数密度/光电离

引用本文复制引用

王倩,赵江山,范元媛,郭馨,周翊..不同缓冲气体中ArF准分子激光系统 放电特性分析[J].物理学报,2020,69(17):299-306,8.

基金项目

国家科技重大专项 (批准号: 2013ZX02202) 和应用光学国家重点实验室开放基金 (批准号: SKLAO-201915) 资助的课题. （批准号: 2013ZX02202）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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