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一种基于BSIM4的屏蔽栅沟槽MOSFET 紧凑型模型

江逸洵 乔明 高文明 何小东 冯骏波 张森 张波

物理学报2020,Vol.69Issue(17):354-365,12.
物理学报2020,Vol.69Issue(17):354-365,12.DOI:10.7498/aps.69.20200359

一种基于BSIM4的屏蔽栅沟槽MOSFET 紧凑型模型

A compact model of shield-gate trench MOSFET based on BSIM4

江逸洵 1乔明 1高文明 2何小东 2冯骏波 1张森 2张波1

作者信息

  • 1. 电子科技大学, 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 成都 610054
  • 2. 无锡华润上华科技有限公司, 无锡 214028
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摘要

关键词

屏蔽栅沟槽/MOSFET/紧凑型模型/BSIM4/Verilog-A

引用本文复制引用

江逸洵,乔明,高文明,何小东,冯骏波,张森,张波..一种基于BSIM4的屏蔽栅沟槽MOSFET 紧凑型模型[J].物理学报,2020,69(17):354-365,12.

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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