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MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究

侯晓伟 刘莉娜 吕阳 郑良广 张丛春

传感技术学报2020，Vol.33Issue(6)：825-829,5.
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传感技术学报2020，Vol.33Issue(6)：825-829,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.06.007

MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究

Research on Temperature Coefficient of Resistance of MEMS-Based Pt Thin Film Temperature Sensor

侯晓伟 1刘莉娜 2吕阳 1郑良广 1张丛春3

作者信息

  • 1. 宁波中车时代传感技术有限公司,中国中车传感测量技术研发中心,浙江 宁波315021
  • 2. 湖南汽车工程职业学院车辆工程学院,湖南 株洲412000
  • 3. 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200240
  • 折叠

摘要

关键词

铂电阻/温度传感器/微机电系统/热处理/电阻温度系数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

侯晓伟,刘莉娜,吕阳,郑良广,张丛春..MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究[J].传感技术学报,2020,33(6):825-829,5.

基金项目

国家重点研发计划项目( 2016YFB1200401) （ 2016YFB1200401）

宁波市工业重大科技专项攻关项目( 2017B10017) （ 2017B10017）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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