电子器件2020，Vol.43Issue(4)：720-723,4.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2020.04.002
两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究
Study on Field Enhancement Characteristics of Field Emission of Diamond Polycrystalline Carbon Films
摘要
关键词
微波等离子体化学气相沉积/场致电子发射/纯平金刚石碳膜/球状金刚石聚晶颗粒碳膜分类
通用工业技术引用本文复制引用
高金海,张洁,李成刚,张兵临..两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究[J].电子器件,2020,43(4):720-723,4.基金项目
教育部科学技术重点项目(205091) （205091）
2018年河南省科技厅科技攻关项目(182102210140) （182102210140）
2018年河南省重点研发与推广专项项目(182102210564) （182102210564）
2017年度河南省科技计划项目(172102210115) （172102210115）
