模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖OA北大核心CSCDCSTPCD
Preparation of pyramidal Ni nano-tips using template-microelectroforming technique
为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法,设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证.利用(100)型单晶硅的各向异性腐蚀特性在40％的KOH溶液中腐蚀以制备倒金字塔型的硅模具,采用磁控溅射与正胶剥离工艺获得了厚度为200 nm的Ni种子层薄膜并进行金属图形化,之后进行微电铸实验,最后,利用KOH腐蚀硅模具以释放金字塔型实体Ni纳米尖.实验结果表明:利用ICP干法刻蚀代替HF酸腐蚀SiO2掩蔽窗口,可将模具制作的相对误差降…查看全部>>
胡亚明;梁军生;杨金鹤;王大志;王立鼎
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连116024大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室,辽宁大连116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连116024海信新研发中心,山东青岛266100
信息技术与安全科学
纳米尖硅模具各向异性刻蚀微电铸种子层
《光学精密工程》 2020 (7)
1500-1509,10
国家自然科学基金资助项目(No.51675085)大连市科技创新基金资助项目(No.2019JRGX042)
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