化工学报2020,Vol.71Issue(9):3963-3978,16.DOI:10.11949/0438-1157.20200582
五元环氟化物的合成及应用
Synthesis and application of five-membered ring fluoride
摘要
关键词
五元环氟化物/1,1,2,2,3,3,4-七氟环戊烷/电子清洗/电子刻蚀/电子氟化液/催化/催化剂/催化剂活化分类
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张呈平,庆飞要,贾晓卿,权恒道..五元环氟化物的合成及应用[J].化工学报,2020,71(9):3963-3978,16.基金项目
国家环境保护部环境保护对外合作中心的清洗行业消耗臭氧层物质替代技术研发和推广项目(C/III/T/14/072) (C/III/T/14/072)