金刚石与磨料磨具工程2020，Vol.40Issue(4)：5-11,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2020.4.0001
半导体硅片制备技术及产业现状
Manufacturing technique and industry status of semiconductor silicon wafers
闫志瑞 1库黎明 1白杜娟 1陈海滨 1王永涛1
作者信息
- 1. 有研半导体材料有限公司,北京 100088
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摘要
关键词
半导体/硅片/产业现状/技术/机遇/挑战分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
闫志瑞,库黎明,白杜娟,陈海滨,王永涛..半导体硅片制备技术及产业现状[J].金刚石与磨料磨具工程,2020,40(4):5-11,7.
