真空电子技术Issue(4)：28-33,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.04.04
片上电子源的真空阳极键合
Vacuum Anode Bonding of an On-Chip Electron Source
摘要
关键词
阳极键合/片上微型电子源/微纳真空电子器件/片上微型真空腔室分类
数理科学引用本文复制引用
陶俊明,刘文超,郭等柱,赵振征,陈清,魏贤龙..片上电子源的真空阳极键合[J].真空电子技术,2020,(4):28-33,6.基金项目
国家重点研发计划项目(2019YFA0210201) （2019YFA0210201）
