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超高真空计研制及其计量特性研究

张虎忠 李得天 成永军 孙健 李刚

真空电子技术Issue(4)：63-68,6.
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真空电子技术Issue(4)：63-68,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.04.12

超高真空计研制及其计量特性研究

Development of an Ultrahigh Vacuum Gauge and Research on Its Measurement Characteristics

张虎忠 1李得天 1成永军 1孙健 2李刚1

作者信息

  • 1. 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,甘肃兰州730000
  • 2. 质谱仪器与大气环境研究所暨南大学,广东广州511486
  • 折叠

摘要

关键词

超高真空/真空测量/电离真空计/灵敏度/真空校准

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张虎忠,李得天,成永军,孙健,李刚..超高真空计研制及其计量特性研究[J].真空电子技术,2020,(4):63-68,6.

基金项目

国家自然科学基金项目(61601211,61671226,61627805,41904166) （61601211,61671226,61627805,41904166）

真空电子技术

1002-8935

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