黑龙江科技大学学报2020，Vol.30Issue(4)：416-421,464,7.DOI:10.3969/j.issn.2095-7262.2020.04.012
单脉冲266nm固体激光烧蚀蓝宝石的工艺和机理
Process and mechanism for sapphire ablation by single-pulse 266 nm solid-state laser
摘要
关键词
266nm纳秒固体激光/蓝宝石/烧蚀阈值/烧蚀机理/单脉冲分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
齐立涛,李雪,刘亚升..单脉冲266nm固体激光烧蚀蓝宝石的工艺和机理[J].黑龙江科技大学学报,2020,30(4):416-421,464,7.基金项目
黑龙江省自然科学基金面上项目(E2017060) （E2017060）
CAD/CAM福建省高校工程技术研究中心开放课题(K201706) （K201706）
