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四甲基二硅氮烷的合成及饱和蒸汽压数据的测定与关联

蒋攀 董红 李建恒 栾文耕 张学奇 瞿志荣 伍川

杭州师范大学学报(自然科学版)2020,Vol.19Issue(5):449-455,459,8.
杭州师范大学学报(自然科学版)2020,Vol.19Issue(5):449-455,459,8.DOI:10.12191/j.issn.1674-232X.2020.05.001

四甲基二硅氮烷的合成及饱和蒸汽压数据的测定与关联

Study on the Synthesis of Tetramethyldisilazane and the Measurement and Correlation of Saturated Vapor Pressure Data

蒋攀 1董红 1李建恒 2栾文耕 1张学奇 2瞿志荣 1伍川1

作者信息

  • 1. 杭州师范大学有机硅化学及材料技术教育部重点实验室,浙江 杭州 311121
  • 2. 合肥安德科铭半导体科技有限公司,安徽 合肥 230088
  • 折叠

摘要

关键词

二甲基氯硅烷/四甲基二硅氮烷/饱和蒸汽压/Antoine方程/Clarke-Glew方程

分类

化学化工

引用本文复制引用

蒋攀,董红,李建恒,栾文耕,张学奇,瞿志荣,伍川..四甲基二硅氮烷的合成及饱和蒸汽压数据的测定与关联[J].杭州师范大学学报(自然科学版),2020,19(5):449-455,459,8.

基金项目

浙江省公益技术应用研究项目(GG20B040004). (GG20B040004)

杭州师范大学学报(自然科学版)

OACSTPCD

1674-232X

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