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压头曲率半径对硬质薄膜结合力划痕测量影响的比较研究

于杰 陶兴付 秦林 李晓兵

计量学报2020，Vol.41Issue(9)：1089-1094,6.
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计量学报2020，Vol.41Issue(9)：1089-1094,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2020.09.09

压头曲率半径对硬质薄膜结合力划痕测量影响的比较研究

Comparative Study on the Influence of Curvature Radius of Needle Tip on Scratch Test of Hard Film Bonding Force

于杰 1陶兴付 2秦林 1李晓兵1

作者信息

  • 1. 太原理工大学表面工程研究所,山西太原030024
  • 2. 中国计量科学研究院,北京100029
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/压头曲率半径/类金刚石薄膜/膜/基结合力/划痕法

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

于杰,陶兴付,秦林,李晓兵..压头曲率半径对硬质薄膜结合力划痕测量影响的比较研究[J].计量学报,2020,41(9):1089-1094,6.

基金项目

国家重点研发计划(2016YFF0204305) （2016YFF0204305）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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