厦门大学学报（自然科学版）2020，Vol.59Issue(5)：747-755,9.DOI:10.6043/j.issn.0438-0479.202006026
面向半导体器件的电化学微纳制造技术
Electrochemical micro/nano-machining for semiconductor devices
韩联欢 1杜炳谦 2许瀚涛 1时康 1周剑章 1杨防祖 1詹东平 1田昭武1
作者信息
- 1. 厦门大学化学化工学院,固体表面物理化学国家重点实验室,福建 厦门 361005
- 2. 厦门大学航空航天学院,福建 厦门 361102
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摘要
关键词
约束刻蚀剂层技术/电化学微加工/电化学纳米加工/先进制造/半导体微纳器件/半导体晶圆分类
通用工业技术引用本文复制引用
韩联欢,杜炳谦,许瀚涛,时康,周剑章,杨防祖,詹东平,田昭武..面向半导体器件的电化学微纳制造技术[J].厦门大学学报（自然科学版）,2020,59(5):747-755,9.
