人工晶体学报2020，Vol.49Issue(8)：1541-1547,7.
高温退火工艺对直流反应磁控溅射制备蓝宝石基氮化铝模板的影响
Effect of High Temperature Annealing on Sapphire-based Aluminum Nitride Templates Fabricated by DC Reactive Magnetron Sputtering
刘欢 1朱如忠 1龚建超 1王琦琨 1付丹扬 1雷丹 2黄嘉丽 2吴亮1
作者信息
- 1. 上海大学材料科学与工程学院,省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室,上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室,上海200444
- 2. 奥趋光电技术(杭州)有限公司,杭州311106
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摘要
关键词
氮化铝/磁控溅射/高温退火/结晶质量/蓝宝石基/模板分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘欢,朱如忠,龚建超,王琦琨,付丹扬,雷丹,黄嘉丽,吴亮..高温退火工艺对直流反应磁控溅射制备蓝宝石基氮化铝模板的影响[J].人工晶体学报,2020,49(8):1541-1547,7.
