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厚度测量中对射激光束共线性视觉检测

李加福 朱小平 杜华 唐文彦

光学精密工程2020,Vol.28Issue(8):1690-1699,10.
光学精密工程2020,Vol.28Issue(8):1690-1699,10.DOI:10.3788/OPE.20202808.1690

厚度测量中对射激光束共线性视觉检测

Vision detection for laser beam collinearity in thickness measurement

李加福 1朱小平 2杜华 1唐文彦1

作者信息

  • 1. 中国计量科学研究院,北京100029
  • 2. 哈尔滨工业大学电气及自动化学院,黑龙江哈尔滨150001
  • 折叠

摘要

关键词

共线检测/激光光轴/厚度测量/激光位移传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李加福,朱小平,杜华,唐文彦..厚度测量中对射激光束共线性视觉检测[J].光学精密工程,2020,28(8):1690-1699,10.

基金项目

国家重大科学仪器设备开发项目(No.YQKFB1803-1) (No.YQKFB1803-1)

质量技术监督能力提升专项(No.ANL1822) (No.ANL1822)

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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