基于D KNPE方法半导体蚀刻过程健康状态监视OA北大核心CSCDCSTPCD
Health status monitoring based on DKNPE for semiconductor etch processes
针对传统方法对非线性或多模态间歇过程的故障检测率低的问题,提出一种基于K近邻邻域保持嵌入得分差分(difference of K nearest neighbors score associated with neighborhood preserving embedding,DKNPE)的健康状态监视方法.首先,通过NPE方法计算训练数据集的得分矩阵,称其为样本的本质得分.然后,在训练数据集计算每个样本的K近邻均值,并将其投影到低维空间以获得样…查看全部>>
张成;戴絮年;郭青秀;李元
沈阳化工大学 技术过程故障诊断与安全性研究中心,沈阳 110142沈阳化工大学 技术过程故障诊断与安全性研究中心,沈阳 110142沈阳化工大学 技术过程故障诊断与安全性研究中心,沈阳 110142沈阳化工大学 技术过程故障诊断与安全性研究中心,沈阳 110142
信息技术与安全科学
邻域保持嵌入K近邻半导体蚀刻过程健康状态监视故障检测
《计算机应用研究》 2020 (10)
间歇过程数据扩散映射本征维度空间的k近邻故障诊断研究
3038-3042,5
国家自然科学基金资助项目(61490701,61673279)
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