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中国先进半导体材料及辅助材料发展战略研究

"先进半导体材料及辅助材料"编写组

中国工程科学2020,Vol.22Issue(5):10-19,10.
中国工程科学2020,Vol.22Issue(5):10-19,10.DOI:10.15302/J-SSCAE-2020.05.002

中国先进半导体材料及辅助材料发展战略研究

Strategic Study on the Development of Advanced Semiconductor Materials and Auxiliary Materials in China

"先进半导体材料及辅助材料"编写组1

作者信息

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摘要

关键词

先进半导体材料/辅助材料/第三代半导体/2035

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

"先进半导体材料及辅助材料"编写组..中国先进半导体材料及辅助材料发展战略研究[J].中国工程科学,2020,22(5):10-19,10.

基金项目

中国工程院咨询项目"新材料强国2035战略研究"(2018-ZD-03) (2018-ZD-03)

中国工程科学

OA北大核心CSCDCSTPCD

1009-1742

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