光通信技术2020，Vol.44Issue(10)：6-8,3.DOI:10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2020.10.002
基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感技术
Refractive index sensing technology based on few-mode silicon nitride micro-ring resonator
摘要
关键词
微环谐振器/折射率传感器/氮化硅波导分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘明慧,马麟,邱辞源,何祖源..基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感技术[J].光通信技术,2020,44(10):6-8,3.基金项目
国家重点研发计划(2019YFB1802900)资助 （2019YFB1802900）
国家自然科学基金(61775138、61835006)资助. （61775138、61835006）
