光通信技术2020，Vol.44Issue(10)：47-52,6.DOI:10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2020.10.012
VAD法制备大尺寸芯棒的研究
Research on VAD method of fabricating large size core rod
摘要
关键词
气相轴向沉积法/大尺寸芯棒/喷灯数量/SiCl4流量/提升速率/沉积效率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王兵钦,王樯,何炳,蒋锡华,尹中南,梁伟,崔德运..VAD法制备大尺寸芯棒的研究[J].光通信技术,2020,44(10):47-52,6.基金项目
江苏省苏州市科技发展计划(重点产业技术创新)项目(SGC201950)资助. （重点产业技术创新）
