机电工程技术2020，Vol.49Issue(7)：4-6,63,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2020.07.002
超声波测膜厚技术的精度标定研究
Research on Accuracy Calibration of Ultrasonic Film Thickness Measurement Technology
摘要
关键词
标定装置/无损检测/测量精度/反射系数/超声波/水膜厚度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王超,梁鹏,王玉玲,曹玉哲,姜芙林..超声波测膜厚技术的精度标定研究[J].机电工程技术,2020,49(7):4-6,63,4.基金项目
国家自然科学基金项目(编号:51505245) （编号:51505245）
山东省重点研发计划项目(编号:2018GSF117038,2019GNC106102) （编号:2018GSF117038,2019GNC106102）
固体润滑国家重点实验室开放课题(编号:LSL-1704) （编号:LSL-1704）
