科技智囊Issue(10)：72-75,4.DOI:10.19881/j.cnki.1006-3676.2020.10.11
多弧离子镀制备(Ti,Cr)N纳米复合膜的研究进展
Research?Status?of?Preparation?of?(Ti,Cr)N?Nanocomposite?Film?by?Multi-Arcion?
Plating
郑小龙 1沈华刚 1任建玮 1宋杰远 2孙珲2
作者信息
- 1. 青岛鼎信通讯股份有限公司研发本部工程物理实验室,山东,青岛,266109
- 2. 山东大学空间科学与物理学院,山东,威海,264209
- 折叠
摘要
关键词
(Ti,Cr)N薄膜/多弧离子镀/纳米复合膜分类
通用工业技术引用本文复制引用
郑小龙,沈华刚,任建玮,宋杰远,孙珲..多弧离子镀制备(Ti,Cr)N纳米复合膜的研究进展[J].科技智囊,2020,(10):72-75,4.
