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光刻机机箱EMC电磁兼容解决方案

胡广领

科技创新与应用Issue(33)：126-127,2.
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科技创新与应用Issue(33)：126-127,2.

光刻机机箱EMC电磁兼容解决方案

胡广领1

作者信息

  • 1. 上海微电子装备(集团)股份有限公司控制工程部,上海 201209
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摘要

关键词

光刻机/EMC/EMI/屏蔽/滤波/接地

分类

信息技术与安全科学

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胡广领..光刻机机箱EMC电磁兼容解决方案[J].科技创新与应用,2020,(33):126-127,2.

科技创新与应用

2095-2945

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