沈阳航空航天大学学报2020，Vol.37Issue(4)：40-46,7.DOI:10.3969/j.issn.2095-1248.2020.04.005
刀具前角对单晶硅超精密加工表面质量的影响
Effect of tool rake angle on surface quality of single-crystal silicon during ultra-precision machining
摘要
关键词
单晶硅/分子动力学/刀具前角/各向异性/亚表面损伤/超精密加工分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王明海,王福宁,王奔,刘琪,尤思尧..刀具前角对单晶硅超精密加工表面质量的影响[J].沈阳航空航天大学学报,2020,37(4):40-46,7.基金项目
国家自然科学基金(项目编号:51675352) （项目编号:51675352）
